Neste vídeo, a IPG Photonics apresenta um conceito de aquecimento a laser utilizando uma abordagem de zona de aquecimento flexível. Existem processos que requerem entrada de energia não uniforme, muitas vezes devido a efeitos convectivos que são difíceis de resolver com sistemas de distribuição de calor uniformes. Felizmente, os lasers de infravermelho próximo (NIR) fornecidos por fibra da IPG Photonics podem ser configurados de forma flexível para oferecer uma ampla gama de possibilidades de distribuição de energia que melhor atendem aos requisitos específicos do processo.

Por exemplo, um processo epi incorpora fluxos complexos de gás sobre uma pastilha aquecida em rotação rápida para alcançar taxas de deposição uniformes. Esse ambiente dinâmico é melhor abordado por várias zonas de aquecimento geridas individualmente na superfície da pastilha, conforme mostrado no vídeo acima.

Para saber mais sobre o conceito de aquecimento de wafer a laser, pode ver uma demonstração do processo aqui.

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