En este vídeo, IPG Photonics muestra un concepto de calentamiento de obleas basado en la iluminación con láser de infrarrojo cercano (NIR) de obleas de silicio (Si) de 200 mm. Nuestros hallazgos sugieren que el uso de una solución láser para el calentamiento de obleas ofrece un ahorro atractivo de energía y tiempo de ciclo.

Más allá del ahorro energético inherente al calentamiento por láser, se consigue una eficiencia adicional gracias al equipo láser utilizado en la demostración. Los láseres de diodo IPG DLS-ECO de infrarrojo cercano proporcionan al menos un 55 % de eficiencia en la conversión de energía eléctrica en luz proyectada. El haz láser proyectado puede moldearse para minimizar el derrame de energía fuera del perímetro de la oblea, lo que reduce al mínimo la energía que de otro modo se desperdiciaría calentando la atmósfera y las paredes de la cámara.

Además, la energía láser se transmite a través de una fibra larga (de hasta 50 m) que permite que la fuente de calor permanezca fuera de la sala limpia. Dado que no se genera un calor considerable cerca del proceso, excepto en la superficie de la oblea objetivo, los calentadores láser reducen significativamente la carga sobre los servicios de la sala limpia.

Para obtener más información sobre el concepto de calentamiento puntual multizona para obleas de silicio, puede ver una representación animada del proceso aquí.

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