In diesem Video stellt IPG Photonics ein Laserheizkonzept vor, das einen flexiblen Heizzonenansatz nutzt. Es gibt Prozesse, die eine ungleichmäßige Energiezufuhr erfordern, häufig aufgrund von Konvektionseffekten, die mit Systemen zur gleichmäßigen Wärmeverteilung nur schwer zu bewältigen sind. Glücklicherweise lassen sich die fasergeführten Nahinfrarotlaser (NIR) von IPG Photonics flexibel konfigurieren, um eine Vielzahl von Energieverteilungsmöglichkeiten zu bieten, die den spezifischen Prozessanforderungen optimal gerecht werden.

Beispielsweise umfasst ein Epi-Prozess komplexe Gasströme über einem schnell rotierenden, erhitzten Wafer, um gleichmäßige Abscheidungsraten zu erzielen. Diese dynamische Umgebung lässt sich am besten durch zahlreiche individuell gesteuerte Heizzonen auf der Waferoberfläche bewältigen, wie im obigen Video gezeigt.

Um mehr über das Konzept der Laser-Wafer-Erwärmung zu erfahren, können Sie sich hier eine Präsentation des Verfahrens ansehen.

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