„Deep UV“ bezieht sich in der Regel auf ultraviolette Laserwellenlängen, die kürzer als 300 Nanometer (nm) sind. Faserlaser, die mit Infrarotstrahlen (~1000 nm) beginnen, erreichen Deep-UV-Wellenlängen durch einen Prozess, der als Wellenlängen- oder Frequenzverdopplung bekannt ist. Durch die Fokussierung des Infrarotlaserstrahls durch einen nichtlinearen Kristall wird die Wellenlänge für die Erzeugung der zweiten Harmonischen präzise halbiert. Durch Wiederholung des Prozesses wird die Wellenlänge erneut halbiert, wodurch der Bereich der Faserlaser auf die vierte Harmonische erweitert wird.
Deep-UV-Laser bieten im Vergleich zu den häufiger verwendeten Infrarot- und sichtbaren Wellenlängenlasern entscheidende Vorteile in bestimmten Anwendungen. In Kombination mit einer zuverlässigeren und einfacher zu integrierenden Faserlaserarchitektur hat die Deep-UV-Wellenlänge in einer Vielzahl von Branchen zunehmend Verbreitung gefunden. Deep-UV-Laser spielen eine entscheidende Rolle in einer Reihe von Anwendungen, wo sie für die Mikrobearbeitung, die Halbleiterfertigung und fortschrittliche oder wissenschaftliche Anwendungen eingesetzt werden.
